钝化层形成用组合物、带钝化层的半导体基板及其制造方法、以及太阳能电池元件及其制造方法
2013
本发明的钝化层形成用组合物包含:至少一种通式(I)所示的烷醇盐;选白钛化合物、锆化合物及烷醇硅中的至少一种化合物;溶剂;和树脂。通式(I)中,M包含选白Nb、Ta、V、Y及Hf中的至少一种金属元素。R1表示碳数1~8的烷基或碳数6~14的芳基。m表示1~5的整数。M(OR1)m (I)。
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