Mach-Zehnder형 진행파 Ti:LiNbO₃광변조기의 제작 및 변조응답 추정

Mach-Zehnder 간섭기를 이용한 Ti:LiNbO₃진행파 광변조기를 설계 및 제작하였다. FDM을 이용하여 광도파로의 최적 설계치를 추출하였다. CPW 진행파전극의 MW 유효굴절률 및 특성임피던스를 정합시키기 위하여 taper 영역의 입·출력단에서는 CMM을, 변조영역에서는 FEM으로 설계를 수행하였다. 제작된 소 자의 MW 특성으로는, S 파라미터로부터 감쇠상수 α m＝0.05426 f , MW 유효굴절률 N eff＝2.2025 , 특성임 피던스 Z c＝39 Ω이 추출되었다. MW 특성으로부터 계산한 주파수응답 R( ω)의 3 dB 변조대역폭은 ∼10 GHz으로 예측되었다.