Piece of glass and methods for the manufacture of glass pieces and semiconductor devices having glass pieces

Ein Quellenmaterial, das auf einem Glas beruht, ist auf einer Arbeitsflache (101) eines Formsubstrats (100) angeordnet. Das Formsubstrat (100) ist aus einem einkristallinen Material hergestellt. Ein Hohlraum (101, 103, 105, 107) ist in der Arbeitsflache (101) gebildet. Das Quellenmaterial (200a) wird gegen das Formsubstrat (100) gepresst. Wahrend des Pressens sind die Temperatur des Quellenmaterials (200a) und eine auf das Quellenmaterial (200a) ausgeubte Kraft gesteuert, um das Quellenmaterial (200a) zu verflussigen. Das verflussigte Quellenmaterial (200a) fliest in den Hohlraum (101, 103, 105, 107). Das wiederverfestigte Quellenmaterial bildet ein Glasstuck (200) mit einem Vorsprung (201, 203, 205, 207), der sich in den Hohlraum (101, 103, 105, 107) erstreckt. Nach dem Wiederverfestigen kann das Glasstuck (200) mit dem Formsubstrat (100) verbunden sein. Auf dem Glasstuck (200) konnen Vorsprunge und Hohlraume mit Neigungswinkeln kleiner als 80 Grad, mit verschiedenen Neigungswinkeln, mit verschiedenen Tiefen und Breiten von 10 Mikrometer und mehr gebildet werden.