レーザ照射装置、液滴吐出装置、レーザ照射方法、液滴吐出方法及び位置制御装置

【課題】 本発明は対象体表面に対し高速ギャップ合わせが可能な位置制御装置、及び広いダイナミックレンジを実現可能なレーザ照射装置等の位置制御装置を提供することを目的としている。 【解決手段】 光ビーム１０２を発生するレーザ発生装置１００と、光ビーム１０２を被照射体１０４上に集光する一の集光手段１１０と、光ビーム１０２を被照射体１０４の表面と略平行に移動予定経路に沿って相対的に移動させるための移動手段１１２と、移動予定経路に沿って被照射体１０４表面の凹凸又はうねりを検出する検出手段１１４と、光ビーム１０２の焦点位置を調整するために、検出された凹凸又はうねりに応じて一の集光手段を光ビームの光軸方向に移動可能にする複数の位置決め装置を積層状に備えた、集光手段１１０を支持する支持機構１１６と、を備えたレーザ照射装置１により上記課題を解決する。 【選択図】 図１