インプリント用型部材、インプリント用型部材の製造方法、及びインプリント方法

2006 
【課題】基板上に垂直形状に立設された転写パターンが得られるインプリント用型部材、インプリント用型部材の製造方法、及びこのインプリント用型部材を用いたインプリント方法を提供すること。 【解決手段】モールド(インプリント用型部材)1は、表面に基板用レジスト(基板用光硬化性樹脂)が配設された基板を押圧して、パターン面(一表面)1aに形成された凹部5Aと凸部5Bとからなるパターン5を基板に転写するものであって、凹部5Aが、パターン面1aから深さ方向に漸次拡開して設けられている。凹部5Aの角度θは、70度以上90度未満の所定の角度となっている。 【選択図】図1
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