Handlingsystem zum Be- und Entladen einer Prozessanlage und Verfahren zu seinem Betrieb

Bei dem erfindungsgemasen Handlingsystem zum Be- und Entladen einer Prozessanlage mit zumindest einem Carrier, der mit zumindest einem flachen Substrat fur einen Vertikaltransport des Substrats be- und entladbar ist, ist ein erstes und ein zweites Handlingmodul vorgesehen, wobei zumindest einem der Handlingmodule zumindest eine Substrat-Handlingeinheit fur einen vom Carrier separaten Substrat-Transfer zugeordnet ist. Der Carrier ist mit vertikal ausgerichtetem Substrat zwischen der Prozessanlage und dem ersten Handlingmodul, der Prozessanlage und dem zweiten Handlingmodul sowie zwischen den beiden Handlingmodulen transferierbar. Bei dem erfindungsgemasen Verfahren zum Betrieb des Handlingssystem zum Be- und Entladen einer Prozessanlage mit zumindest einem Carrier, der mit flachen Substraten fur einen Vertikaltransport beladbar und entladbar ist, ist ein erstes und ein zweites Handlingmodul vorgesehen, wobei zumindest einem der Handlingmodule zumindest eine Substrat-Handlingeinheit fur einen vom Carrier separaten Substrat-Transfer zugeordnet ist. Der Carrier wird mit vertikal ausgerichtetem Substrat zwischen der Prozessanlage und dem ersten Handlingmodul, der Prozessanlage und dem zweiten Handlingmodul und zwischen den beiden Handlingmodulen transferiert und soweit die Carrier ohne Substratbeladung transferiert werden, ist die gleiche raumliche Orientierung wie bei einem Transport mit Substratbeladung vorgesehen.