대용량 고온 증발원

본 발명은 대용량 고온 증발원에 관한 것으로, 도가니와 선형 관로 및 노즐을 모두 동일한 재료로 구성하여 열 팽창계수의 차이가 없게 하였고, 이들은 구리 등과 반응하지 않는 텅스텐, 세라믹, 석영, 그라파이트 또는 몰리브덴으로 구성하였다. 도가니와 노즐용 히터는 텅스텐으로 하여 가스 이탈이 적으면서도 고온에서 내구성이 있도록 하였고, 선형 관로에 형성하는 노즐은 일체형이 아니라 조립식으로 하여 증발율을 시험해 보고 다양한 직경을 가진 노즐로 교체할 수 있게 하였다.