ターゲット材料、電極材料、及び実装部品

(57)【要約】 【課題】 環境上問題となるＣｒを含まない組成で、従 来のＮｉ−Ｃｕ系合金よりもＳｎのバリア特性に優れ、 しかも従来のＮｉ−Ｃｒ系合金よりもエッチング性に優 れた電極材料、これを用いた電子回路実装部品、この電 極材料を形成するためのスパッタリングターゲット材料 を提供する。 【解決手段】 Ｔｉを１〜５０重量％含むＮｉ基合金か らなることを特徴とするスパッタリングターゲット材 料、またこれを用いたスパッタリング法で形成される電 極材料。また、この電極材料を備えた電子回路実装部 品。