パターン形成方法、一組の露光マスク、薄膜トランジスタマトリクス装置及びその製造方法、液晶表示装置及びその製造方法

(57)【要約】 【課題】複数枚に分担して形成されたパターン形成領域 同士を繋ぎ合わせて一つの全体パターンを形成する複数 枚からなるパターン形成方法に関し、複数枚の露光マス クを用い、パターンを繋ぎ合わせて規則的に並ぶ全体の パターンを形成する場合に、規則性を崩さずに繋ぎ合わ せた部分で異なる露光に係るパターンを混在させる。 【解決手段】第１の露光マスク（11ａ）を用いて露光 し、第１の領域の上の感光性レジスト膜（５２）に複数 の第１のパターンの潜像を規則的に配置形成するととも に、第３の領域（JT１）の上の感光性レジスト膜（５ ２）に第１のパターンが入る広さの未露光領域と第１の パターンの潜像とを形成する工程と、第２の露光マスク （11ｂ）を用いて露光し、第２の領域の上の感光性レジ スト膜（５２）に複数の第１のパターンの潜像を規則的 に配置形成するとともに、第３の領域（JT１）上の未露 光領域に第１のパターンの潜像を形成する工程とを有す る。