一种基于纳米网格结构V 2 O 5 薄膜的气敏传感器及其制备方法
2016
一种基于纳米网格结构V2O5薄膜的气敏传感器及其制备方法,属于气敏材料与气敏传感器制备技术领域。为衬底、薄膜和电极三层结构;最下面是衬底层,选用表面法线方向为(001)的SrTiO3单晶基片;中间是纳米网格结构V2O5薄膜层,长条形状的V2O5晶粒相互垂直的交错排列在SrTiO3单晶衬底上,形成纳米网格结构V2O5薄膜;V2O5晶粒的宽度为150~170nm,晶粒的长度为150~2000nm;最上面是电极层,正负电极覆盖在纳米尺度的网格结构V2O5薄膜表面上,从而形成了基于纳米网格结构V2O5薄膜的气敏传感器。该传感器是一种对多种气体敏感的传感器,在特定的气体环境直接产生电信号,具有响应快、灵敏度高、室温无需加热的特点。该气敏传感器可以获得氨气、气态乙醇、气态丙酮三种气体直接电信号。
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