一种基于纳米网格结构V 2 O 5 薄膜的气敏传感器及其制备方法

一种基于纳米网格结构V2O5薄膜的气敏传感器及其制备方法，属于气敏材料与气敏传感器制备技术领域。为衬底、薄膜和电极三层结构；最下面是衬底层，选用表面法线方向为(001)的SrTiO3单晶基片；中间是纳米网格结构V2O5薄膜层，长条形状的V2O5晶粒相互垂直的交错排列在SrTiO3单晶衬底上，形成纳米网格结构V2O5薄膜；V2O5晶粒的宽度为150～170nm，晶粒的长度为150～2000nm；最上面是电极层，正负电极覆盖在纳米尺度的网格结构V2O5薄膜表面上，从而形成了基于纳米网格结构V2O5薄膜的气敏传感器。该传感器是一种对多种气体敏感的传感器，在特定的气体环境直接产生电信号，具有响应快、灵敏度高、室温无需加热的特点。该气敏传感器可以获得氨气、气态乙醇、气态丙酮三种气体直接电信号。