YbF 3 和YF 3 薄膜在0.4~14 μm超宽光谱内光学常数反演

为了获得红外低折射率材料的光学常数，采用电子束热蒸发技术在多光谱硫化锌基底上以不同的基底温度分别制备了单层氟化钇(YF3)和氟化镱(YbF3)薄膜。通过分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪分别测试其在可见至远红外波段的透射率光谱曲线，使用包络法和色散模型拟合相结合的方法对其在可见至红外波段的光学常数进行了反演，得到了其在0.4~14 μm波段内的折射率与消光系数。采用椭偏测试结果验证了YF3和YbF3薄膜在0.4~1.6 μm波段内的光学常数正确性；将拟合得到的光学常数代入TFCalc 膜系设计软件，计算得到的单层薄膜的透射率光谱曲线与实测的光谱曲线吻合较好。实验结果表明，该方法获得的在超宽光谱0.4~14 μm范围内的光学常数准确、可靠。