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スパッタ-法により作製したMo-Al多層膜の構造と電気抵抗 (薄膜の形成と構造 ) -- (無機薄膜)
スパッタ-法により作製したMo-Al多層膜の構造と電気抵抗 (薄膜の形成と構造 ) -- (無機薄膜)
1987
tosihide izumitani
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