반도체 제조설비의 배기 시스템

각 서브 배기덕트에 연통되는 비상 배기라인; 비상 배기라인에 설치되어 가열공기를 외부로 배출하는 송풍기; 및 서브 배기덕트에 설치된 압력(풍압)센서가 감지한 가열공기의 압력에 따라 댐퍼를 차단하고 송풍기를 구동하여 비상 배기라인을 통하여 가열공기가 흘러 외부로 배출되도록 하는 제어부를 포함하는 반도체 제조설비의 배기 시스템이 개시된다.