Keyence one kind of method and apparatus based on real-time focusing

本发明公开了一种基于Keyence实时聚焦方法及装置，扫描式光刻机按照条带进行曝光，所有条带构成整个曝光区域；曝光区域确定实时聚焦区域，将实时聚焦区域划分成待拟合区域；曝光某一条带前利用Keyence将与此条带相交的所有待拟合区域的四个顶点位置的焦面值测算出来，通过矩阵运算拟合得到待拟合区域的焦平面方程；曝光某一条带时找到已拟合区域，通过焦平面方程得到焦面值，移动曝光基底Wafer实现精准聚焦。 本基于Keyence实时聚焦方法及装置成本低廉，聚焦精准、快速，实现了超快速聚焦；实际应用中可以通过调整待拟合区域大小来实现更精细或更快速的聚焦。