Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー)
軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー)
2016
kouhei sakamoto
takanori satou
syunsuke oyamada
naoki matuo
masanori sinohara
yosinobu matuda
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]