Procédé d'entraînement et système d'entraînement d'un corps mobile

La presente invention a trait a un procede qui consiste a deplacer un niveau de tranche (WST) tout en controlant une position au moyen d'un interferometre X (127) et d'un interferometre Y (16), et a mesurer la position en Z d'une echelle Y (39Y1, 39Y2) disposee sur la surface superieure du niveau de tranche a l'aide d'un capteur (72a a 72d). Dans ce cas, par exemple, a partir d'une difference entre les resultats de mesure de deux capteurs (72a, 72b), on obtient l'inclinaison de l'echelle Y (39Y2) dans la direction de l'axe Y. En mesurant l'inclinaison de la surface totale des echelles Y (39Y1, 39Y2), on cree des donnees d'inegalites bidimensionnelles des echelles. En corrigeant les resultats de mesure du capteur au moyen de ces donnees d'inegalites et en utilisant ensuite les resultats de mesure corriges, on peut entrainer le niveau de tranche de maniere bidimensionnelle avec une precision elevee.