A gas sensor microstructure biomimetic surfaces for

2015 
本发明公开了一种用于气体传感器表面的仿生微结构,是由传感器敏感层基底、凸起的微面和三棱柱状脊组成,其中三棱柱状脊均匀分布在传感器敏感层基底上,凸起的微面均匀分布在相邻两个三棱柱状脊之间形成的沟槽上,三棱柱状脊的两个侧面上设置有均匀分布的微孔;本发明通过模仿蛇舌表面的微观结构设计一种气体传感器表面仿生微结构,使得气体在流经仿生微结构表面时形成湍流,提高了进入传感器敏感层的气体分子数量,从而提高了检测的灵敏度。
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