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サブ5nmナノ押込と接着測定のためのMEMSシステム(MEMS)力変位変換器【JST・京大機械翻訳】
サブ5nmナノ押込と接着測定のためのMEMSシステム(MEMS)力変位変換器【JST・京大機械翻訳】
2018
Zhang Youfeng
Oh Yunje
Stauffer Douglas
A Polycarpou Andreas
Keywords:
Nuclear magnetic resonance
Physics
Microelectromechanical systems
Optics
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