熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法

(57)【要約】 【課題】 計測対象流体の種類や組成が変化すると出力 特性に変化を生じるフローセンサによっても、計測対象 流体の流量を精度良く計測できるようにする。 【解決手段】 マイクロヒータ４が外部からの駆動電流 により流体を加熱すると、マイクロヒータ４の加熱と並 行して、上流側サーモパイル８は、マイクロヒータ４に よる加熱される前の流体の温度を検出し、第１の温度検 出信号を出力し、下流側サーモパイル５は、マイクロヒ ータ４による加熱される前の流体の温度を検出し、第２ の温度検出信号を出力し、これら両信号の差信号に基づ き流量を算出するが、それに当たり、マイクロヒータ４ に対して流体の流れ方向と略直交方向に配置された右側 サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３により流体 の温度を検出し右側温度検出信号及び左側温度検出信号 を出力させ、これに基づき算出される流体の物性値に基 づき、算出された流量を補正できるようにする。