積層基板製造方法、積層基板製造装置、積層基板製造システム、および基板処理装置

第１の基板と第２の基板とを貼り合わせて積層基板を製造する方法であって、第１の基板および第２の基板のそれぞれの湾曲に関する情報に基づいて、第１の基板および第２の基板が所定の条件を満たすか否かを判断する段階と、所定の条件を満たす場合に、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる段階とを含む。上記積層基板製造方法において、第１の基板を第２の基板に貼り合わせた後の位置ずれ量を、情報に基づいて推測する段階を含み、所定の条件は、位置ずれ量が閾値以下であることを含んでもよい。