CH3SiCl3-BCl3-H2体系气相沉积的热力学计算

利用FactSage software软件进行热力学计算,获得了CH3SiCl3（MTS）-BCl3-H2体系在化学气相沉积环境中Si-B-C陶瓷的热力学产物图和相图。讨论了在高温（900～1100℃）、低压（2 kPa、5 kPa和12 kPa）条件下系统总压、温度和反应气体比例等参数对主要产物产率的影响。结果表明,在所研究的参数范围内,系统总压、温度和气体比例对B4C相的产率影响比较明显,而对SiC相的产率影响不明显。气体比例对C相的产率影响比较明显,温度和系统总压对C相的产率影响不明显。各参数的变化对主要气态产物（BHx、CxHy、SiClx等）的产率有一定程度的影响。稀释气体分压的增加有利于富B相的生成,MTS分压的增加有利于SiC的生成。