Condensateur métal-isolant-métal (mim) avec empilement isolant ayant une pluralité de couches d'oxyde de métal

L'invention concerne des condensateurs metal-isolant-metal (MIM) avec des empilements isolants ayant une pluralite de couches d'oxyde de metal. Par exemple, un condensateur MIM pour un dispositif semi-conducteur inclut une tranchee disposee dans une couche dielectrique disposee sur un substrat. Une premiere plaque de metal est disposee le long du fond et des parois laterales de la tranchee. L'empilement isolant est dispose sur et de maniere conforme avec la premiere plaque de metal. L'empilement isolant comprend une premiere couche d'oxyde de metal ayant une premiere constante dielectrique et une seconde couche d'oxyde de metal ayant une seconde constante dielectrique. La premiere constante dielectrique est plus elevee que la seconde constante dielectrique. Le condensateur MIM comprend egalement une seconde plaque de metal disposee au-dessus et de maniere conforme avec l'empilement isolant.