DESARROLLO DE UN LÁSER DE EXCIMERO XeCI CON PREIONIZACIÓN TIPO CORONA

Se presenta el desarrollo de un laser de excimero XeCl del tipo T.E, de alta presion (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitacion es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga esta conformado con un catodo segmentado inductivamente estabilizado y un anodo contorneado, con una seccion efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionizacion UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas ultimas, descargas de bombeo volumetricamente homogeneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estandar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emision laser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operacion.