Flan pour moule de nano-impression, moule de nano-impression, et procédés de fabrication de ceux-ci

L'invention concerne un flan pour moule de nano-impression qui contient un substrat de verre, et une couche de masque dur formee sur ce substrat. Plus precisement, dans le flan pour moule de nano-impression de l'invention, ladite couche de masque dur comprend un chrome (Cr) et un azote (N), le taux de Cr contenu est de 45 a 95at%, le taux de N contenu est de 5 a 55at%, le taux total de Cr et N contenu est superieur ou egal a 95at%, et l'epaisseur de la couche de masque dur est superieure ou egale a 1,5nm et inferieure a 5nm.