溶胶-凝胶ZrO 2 /SiO 2 薄膜的激光损伤研究

采用溶胶-凝胶工艺分别制备了SiO2和ZrO2单层薄膜、ZrO2/SiO2双层膜以及ZrO2/SiO2多层高反膜。用输出波长为1064nm、脉宽为6.3ns的YAG激光器对薄膜进行了激光损伤实验。观察了薄膜经强激光辐照后的损伤情况, 讨论了薄膜的激光损伤行为, 并从理论上分析了产生这些损伤的原因, 为进一步镀制高质量的ZrO2/SiO2多层高反膜提供了依据。