Procede non destructif et systeme pour l'etablissement d'un profil de distribution d'un element dans un film

L'invention concerne un procede destine a determiner un profil de distribution d'un element dans un film. Ce procede consiste a exciter une energie d'electrons d'un element depose dans un premier film, a obtenir un premier spectre associe a l'energie d'electrons, et a supprimer un spectre de fond a partir du premier spectre. La suppression de la valeur de fond permet de generer un spectre traite. Le procede consiste en outre a confronter le spectre traite avec un spectre simule presentant un profil de distribution simule connu pour l'element dans un film comparable au premier film. Un profil de distribution est obtenu pour l'element dans le premier film sur la base de la confrontation du spectre traite avec un spectre simule choisi dans un ensemble de spectres simules.