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K21 酸化マンガン系スラリーを用いたSic単結晶基板の精密加工プロセスに関する研究(K2CMPI)
K21 酸化マンガン系スラリーを用いたSic単結晶基板の精密加工プロセスに関する研究(K2CMPI)
2011
masayuki hasegawa
tosirou toi
syuuhei kurokawa
osamu oonisi
yasuhiro kawase
tutomu yamazaki
tei hirosi kisii
Keywords:
Bell jar
Metallurgy
Slurry
Chemical-mechanical planarization
Materials science
manganese oxide
high pressure chamber
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