Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
Revêtement PECVD utilisant un précurseur organosilicié
Revêtement PECVD utilisant un précurseur organosilicié
2010
John T. Felts
Thomas E. Fisk
Robert S. Abrams
Robert J. Pangborn
Peter J. Sagona
Keywords:
Chemical engineering
Materials science
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]