Système optique et système de génération de lumière de l'ultraviolet extrême (uve) comprenant le système optique

L'invention porte sur un systeme optique utilise avec un appareil laser, lequel systeme peut comprendre un systeme optique de focalisation, un diviseur de faisceau et un capteur optique. Le systeme optique de focalisation comporte un ou plusieurs foyers, pour focaliser un faisceau laser delivre en sortie a partir de l'appareil laser. Le diviseur de faisceau est dispose entre le systeme optique de focalisation et le ou les foyers du systeme optique de focalisation. Le capteur optique est dispose sur une trajectoire de faisceau du faisceau laser divise par le diviseur de faisceau.