Organisch modifizierte kieselsäurepolykondensate, deren herstellung und deren verwendung

Die Erfindung betrifft organisch modifizierte, lagerstabile, UV-hartbare, NIR-durchlassige und in Schichtdicken von 1 bis 150 νm fotostrukturierbare Kieselsaurepolykondensate, deren Herstellung und deren Verwendung als Negativresists. Die erfindungsgemasen Polykondensate sind erhaltlich durch Kondensation von organisch modifizierten Silandiolen der Formel (I) mit organisch modifizierten Silanen der Formel (II): Ar2Si(OH)2 (I), RSi(OR')3 (II). Die Reste sind gleich oder verschieden und haben folgende Bedeutung: Ar = ein Rest mit 6 bis 20 Kohlenstoff-Atomen und mit mindestens einer aromatischen Gruppe, R = ein organischer Rest mit 2 bis 15 Kohlenstoff-Atomen und mit mindestens einer Epoxy-Gruppe und/oder mit mindestens einer C=C-Doppelbindung, R' = Methyl oder Ethyl. Die Kondensation wird ohne Wasserzugabe durchgefuhrt. Das molare Verhaltnis der Verbindungen (I) und (II) betragt 1:1. Bis zu 90 Mol-% der Verbindung der Formel (II) konnen durch co-kondensierbare Verbindungen des Bors, des Aluminiums, des Siliciums, des Germaniums, des Titans und des Zirkoniums ersetzt sein.