配線基板、その製造方法、非晶質ガラス、配線基板用セラミック組成物、電子回路装置、電子計算機用モジュール、および電子計算機

1995 
(57)【要約】 【目的】900〜1050℃で焼結し、比誘電率が小さ く、熱膨張係数がシリコンと整合し、曲げ強度の大きい セラミック配線基板およびその製造方法。 【構成】軟化温度が850〜1100℃のガラス、すな わち、図1(SiO 2 −B 2 O 3 −R 2 O系三角組成図。小 円の位置により各組成が示され、小円内の数字は組成番 号を示す)において、第1、第3、第10、第11、第 4の組成を示す点をそれぞれ結ぶ線により囲まれる領域 内(線上含む)の点の示す組成を有するガラスを原料と して用いる。バインダには、水系分散型粒子を用い、焼 成工程においてグリーンシートを厚さ方向に加圧する。
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