An apparatus and method for separating an ingot for a high metal impurity regions
2014
一种用于铸锭分离高金属杂质区的设备及其方法,通过在铸锭设备坩埚顶部预留出一定的区域,该区域不喷覆Si3N4涂层,控制硅锭的生长方式和速率,使硅锭生长至为涂覆Si3N4涂层的区域时,通过充入一定量的氩气,使硅锭顶部高金属杂质区反向凝固,在定向凝固与反向凝固的界面处会形成裂纹,极易脱离开,并且反向凝固的区域由于未喷覆Si3N4涂层,硅锭与石英坩埚发生粘连,在取出硅锭后,破碎外表面石英坩埚的同时,可将硅锭中高金属杂质的区域一并去除。 去除方法简单易行,且节省一定的Si3N4用量,硅锭利用率或实际良率为88%~91%。
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