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에어로졸 증착 공정을 통해 제작한 Al2O3 코팅층의 Al2O3 입자 크기에 따른 성막 메커니즘 연구
에어로졸 증착 공정을 통해 제작한 Al2O3 코팅층의 Al2O3 입자 크기에 따른 성막 메커니즘 연구
2020
KimIksoo
Cho Myung Yeon
Koo, Sang-Mo
Dong Won Lee
Oh Jong-Min
Keywords:
Materials science
Engineering physics
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