Dispositif d'exposition, procédé de fabrication de celui-ci, et méthode d'exposition

Le dispositif d'exposition selon l'invention, base sur une structure relativement compacte, permet par exemple de placer deux types de motifs l'un sur l'autre sur une region identique d'un substrat photosensible, et d'exposer ce dernier pour former un motif synthetise. Le dispositif d'exposition est constitue d'un premier systeme d'eclairage (ILa) permettant d'eclairer une premiere region s'etendant de facon etroite dans une direction Y en un motif forme dans un premier masque (Ma), d'un deuxieme systeme d'eclairage (ILb) permettant d'eclairer une deuxieme region s'etendant de facon etroite dans la direction Y en un motif forme dans un deuxieme masque (Mb) positionne a une certaine distance du premier masque dans une direction X, et d'un systeme optique de projection (PL) permettant de former l'image du motif de la premiere region et l'image du motif de la deuxieme region parallelement l'une a l'autre dans la deuxieme direction. Un axe optique (AXa) d'un systeme optique partiel cote projection du premier systeme d'eclairage et un axe optique (AXb) d'un systeme optique partiel cote projection du deuxieme systeme d'eclairage sont respectivement definis dans un plan YZ.