Method and apparatus for monitoring multiple mirror arrangements, optical assembly with such a device as well as with a second multi-mirror arrangement for turning on and off a first multi-mirror array and the illumination optics for a projection exposure apparatus with such a device

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Uberwachung der Ausrichtung von Mikrospiegeln (3) einer Mehrfachspiegelanordnung (2) insbesondere fur die Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage. Eine derartige Vorrichtung bzw. ein Verfahren zur Uberwachung kann vorteilhaft mit einer zweiten Mehrfachspiegelanordnung zur Vermeidung von Streulicht durch defekte Spiegelelemente der ersten Mehrfachspiegelanordnung kombiniert werden, wenn durch die Uberwachungsvorrichtung ein Ausfall von Mikrospiegeln ermittelt wird.