정전척 제조용 플라즈마 스프레이 코팅 재료 및 이의 제조방법

본 발명은 반도체 제조장비에 사용되는 정전척을 제조하기 위하여 사용되는 플라즈마 스프레이 코팅 공정에서 사용되는 세라믹 재료 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 반도체나 디스플레이 장비 내에 기판 등을 고정시키는 정전척을 제조하기 위한 플라즈마 스프레이 공정에 사용되는 재료로서, 50~70wt% Al 2 O 3 , 30~50wt% Y 2 O 3 , 3.5~40wt% YSZ(tria-stabilized zirconia)와 기타 불가피한 불순물을 포함하는 3성분계 세라믹 재료로 이루어지는 정전척 제조용 플라즈마 스프레이 코팅 재료 및 이의 제조방법을 제공한다.