Dispositif au plasma comprenant un element metallique non magnetique en poudre, entre une source d'excitation a courant alternatif du plasma et le plasma lui-meme

L'invention concerne un dispositif de traitement au plasma pour une piece a travailler. Ce dispositif comprend une bobine pour fournir un champ d'excitation radioelectrique par une fenetre au plasma dans une chambre sous vide. Un element metallique non magnetique en poudre entre la bobine et le plasma couple le champ au plasma. Dans des premier et deuxieme modes de realisation, l'element metallique est respectivement (1) une plaque en butee avec une face de la fenetre a l'interieur de la chambre et (2) une couche mince sur une face interieure de la fenetre. Dans un troisieme mode de realisation, la plaque et la couche sont tous les deux utilises. Tous les modes de realisation visent a enflammer le plasma. Le deuxieme mode de realisation augmente la stabilite du plasma et evitent le ternissement de la fenetre par des particules de plasma ionisees. Le metal provenant de la plaque est depose par pulverisation cathodique sur une piece a travailler. Le troisieme mode de realisation assure sensiblement le depot et le nettoyage simultanes.