Film aimanté perpendiculairement très mince possédant une forte anisotropie magnétique perpendiculaire, son procédé de fabrication et application
2013
L'invention porte sur une structure element, dans laquelle une couche magnetique possede une constante d'anisotropie magnetique elevee et des proprietes d'aimantation saturee dans une epaisseur de 1,5 nm ou moins, et sur un dispositif magnetique qui utilise la structure element. Une composition de film oxyde de metal BCC/CoFeB/MgO qui utilise un nitrure d'un metal BCC a titre de couches germes est fabriquee. La quantite de nitrure du nitrure de metal BCC est de preference maintenue inferieure a 60 % en volume par rapport a 100 % de metal BCC. Il est ainsi possible d'obtenir facilement un film aimante de maniere perpendiculaire qui poosede des proprietes magnetiques dans lesquelles l'anisotropie magnetique perpendiculaire est de 0,1 × 10 6 erg/cm 3 ou plus, et l'aimantation saturee est de 200 emu/cm 3 ou plus, meme quand l'epaisseur de la couche magnetique est de 0,3 nm a 1,5 nm inclus.
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