Dispositif et procede permettant de mesurer une caracteristique d'une structure
1999
L'invention concerne un procede et un dispositif permettant de mesurer une caracteristique d'une structure comprenant au moins une couche (10). Ce dispositif comprend un laser (52) qui genere une impulsion (12) optique, un diviseur (62) de faisceau divisant le faisceau optique en au moins deux impulsions (12', 12'') d'excitation, un systeme (70) optique permettant de superposer spatialement et temporellement les impulsions d'excitation sur ou dans la structure de maniere a former un motif (15) d'excitation qui lance une onde acoustique, cette derniere modulant une caracteristique de la structure, par exemple en generant une ondulation (17a, 17b) superficielle a fonction temporelle, et une source (54) lumineuse qui emet un faisceau (20) sonde afin de generer un faisceau (20') signal. L'utilisation d'un element de diffraction en tant que diviseur, la formation d'une image de cet element sur la structure et l'utilisation du faisceau sonde reflechi par la structure en tant que faisceau signal permettent de proceder a une mesure precise et fiable.
Keywords:
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI