Vibrateur ultrasonique du type capacité électrostatique, méthode de fabrication, et sonde ultrasonique du type capacité électrostatique

Un vibrateur ultrasonique du type capacite electrostatique inclut une membrane (9) avec une electrode (7) formee sur la surface du cote de transmission/reception ultrasonique, une cavite (13) configuree sur sa surface arriere, et un substrat (2) sur lequel la membrane (9) et la cavite (13) sont appuyees et l’autre electrode (12) est disposee. Le vibrateur ultrasonique du type capacite electrostatique se caracterise par le fait que la membrane (9) inclut plusieurs couches, dont une au moins est un film dielectrique (8). En consequence, il est possible d’obtenir une pression sonore elevee dans une region de haute frequence.