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ポーラスLow-k上のCu(Ti)合金膜における拡散バリア層自己形成
ポーラスLow-k上のCu(Ti)合金膜における拡散バリア層自己形成
2009
obama kazuyuki
tanaka tomohisa
itou kazuhiro
mori ken'iti
maekawa kazuyosi
sirai yasuharu
murakami masanori
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