Indium gallium zinc oxide semiconductor thin film and indium gallium zinc oxide prepared tft
2014
本发明公开了一种铟镓锌氧化物半导体薄膜的制备方法,包括如下步骤:a)制备乙酰丙酮镓的乙醇溶液、乙酰丙酮锌水合物的乙醇溶液和乙酰丙酮铟的四氢呋喃溶液;b)将三种溶液进行混合并搅拌均匀,制得铟镓锌氧化物的前驱体溶液;c)将前驱体溶液沉积在基板材料上并进行退火处理,制得铟镓锌氧化物半导体薄膜。 本发明制备工艺简单、可控,成本低,光电性能优良。
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