Films et dispositifs de stockage et de conversion d'energie formes par metallisation sous vide physique de titane et d'oxydes de titane et de sous-oxydes

Selon l'invention, des films d'oxyde a haute densite sont deposes par un procede de vaporisation reactive, polarisee, a courant continu pulse d'une cible contenant du titane, de maniere a former des films d'oxyde contenant du titane de grande qualite. L'invention concerne un procede pour former une couche ou un film a base de titane comprenant le depot d'une couche de titane contenant de l'oxyde lors d'un processus de pulverisation reactive, polarisee, a courant continu pulse sur un substrat. Dans des modes de realisation, la couche est TiO2. Dans d'autres modes de realisation, la couche est un sous-oxyde de titane. Dans d'autres modes de realisation, la couche peut etre TixOy, x etant compris entre 1 et 4 et y etant compris entre 1 et 7. Dans d'autres modes de realisation, la couche peut etre dopee par un ou plusieurs ions de terres rares. Lesdites couches sont utilisees dans le stockage d'energie et de charges, et dans les technologies de conversion de l'energie.