루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

본 발명은 하기 화학식 1의 루테늄 화합물 및 이의 제조 방법, 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1의 루테늄 화합물은 열적 안정성과 휘발성이 우수하여 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1] 상기 R 1 내지 R 6 은 각각 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 선형 또는 분지형의 알킬기이다.