圧電素子、インクジェットヘッド、角速度センサ及びインクジェット式記録装置

【課題】 圧電素子において結晶性及び配向性の良好なペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成して、この圧電素子の特性ばらつきを低減するとともに、耐電圧及び信頼性を向上させる。 【解決手段】 第１の電極層１４上に、立方晶系又は正方晶系の配向制御層１５を設け、この配向制御層１５上に、化学式がＰｂ（Ａ a Ｂ b ）Ｏ 3 で表されるＰｂ含有複合ペロブスカイト化合物を１モル％以上５０モル％以下添加したチタン酸ジルコン酸鉛からなりかつ菱面体晶系又は正方晶系の結晶構造を有する圧電体層１６を形成する。この圧電体層１６を形成する際に、該圧電体層１６の結晶粒を、該圧電体層１６の厚み方向に延びかつ長さに対する平均断面径の比が１／５０以上１／１４以下である柱状粒子とする。 【選択図】 図１