シミュレーション方法、シミュレーションプログラム、シミュレーション装置および表面反応装置

【課題】計算時間の短縮および精度の向上を図ったシミュレーション方法、シミュレーションプログラム、およびシミュレーション装置を提供する。 【解決手段】入射に関する異方性の強いイオンなどの粒子種によるプロセスに関して、それぞれ角度θおよびエネルギーＥの関数であるイオン角度エネルギー分布関数（ＩＡＥＤＦ）と、表面との作用の係数としてのエッチング・イールドのエネルギー成分とを数値積分して、エッチング・イールドの重み付けのついたイオン角度分布関数（ＥＹＩＡＤＦ）をあらかじめ作成する。そして、ＥＹＩＡＤＦを用いて表面計算における積分処理を一次元化し、これによりトポグラフィー・シミュレーションを高速実行できるようにする。 【選択図】 図１