Procédé de fabrication d'un corps formé selon un motif

La presente invention a pour objet un procede de fabrication d'un corps forme selon un motif, capable de former avec precision un motif fidele a un motif de masque lors de l'irradiation d'un film monomoleculaire organique, tel qu'un SAM, avec une lumiere ultraviolette extreme a travers un masque dans une atmosphere contenant de l'oxygene. Le procede de fabrication d'un corps forme selon un motif comprend une etape de suppression d'une partie d'un film monomoleculaire organique pour former un motif par irradiation d'un substrat, formant le motif et recouvert du film monomoleculaire organique, avec une lumiere ultraviolette extreme a travers un masque dans une atmosphere contenant de l'oxygene. Ledit procede est caracterise en ce que la lumiere ultraviolette extreme a un spectre continu dans la plage de longueurs d'onde de 180 nm a 200 nm.