レジスト材料用重合体及びその製造方法、レジスト材料、パターン形成方法

【解決手段】予め反応容器に連鎖移動剤を含有する溶液を入れて重合温度に保持したところへ、単量体及び重合開始剤を含有する溶液を連続的又は断続的に滴下してラジカル重合させることを特徴とするレジスト材料用重合体の製造方法。 【効果】本発明の製造方法によって製造される重合体は、レジスト溶剤への難溶解性成分が少なく、この重合体をレジスト材料用ベース樹脂、特にＡｒＦエキシマレーザーを光源としたフォトリソグラフィーにおいて用いる化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として用いることによって、フォトリソグラフィーにおける欠陥数が極めて少ない、微細パターンの形成に有用なレジスト材料が得られる。 【選択図】なし