Contribution à la résolution du problème direct en scatterométrie par réseaux de neurones

Le travail consiste a resoudre le probleme direct par reseaux de neurones (PMC). Au depart ce probleme se resolvait par la methode modale par developpement de Fourier. Pour notre etude, La resolution de ce probleme consiste a la determination de la signature Scatterometrique theorique d’un reseau periodique (intensites lumineuses) connaissant certains parametres (dimensions geometriques, indices des materiaux, periode et la longueur d’onde etc.). L’etude est de creer un RN et de lui fournir les dimensions du profil et de determiner les intensites lumineuses (Is et Ic), puis comparer les signatures calculees par la MMMFE et le RN en calculant l’erreur quadratique et tracer les courbes de comparaison de ces signatures. Mots-cles: scatterometrie, MMMFE, reseau de neurones, Matlab. Contribution to the solution of the direct problem in scatterometry with neural networks The work is to solve the direct problem by neural networks (PMC). Initially this problem solved by the modal method by Fourier expansion. For our study, the resolution of this problem consists in determining the theoretical scatterometric signing of a periodic array (light intensity) knowing certain parameters (geometrical dimensions, materials indices, period and wave Length etc.). The study is to create a RN and provide the profile dimensions and determine the light intensity (Is and Ic), and then compare the signatures calculated by MMMFE RN and by calculating the mean square error and trace curves comparison of these signatures. Keywords: scatterometry, MMMFE, neural Network, Matlab.