ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究(英文)

采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究。结果表明:薄膜的化学成分主要受到样品距靶距离的影响;ZrTANbTiW合金薄膜为非晶或体心立方结构,而其(ZrTANbTiW)N氮化物薄膜由体心立方与面心立方固溶体结构组成;氮离子注入后样品的硬度与弹性模量都有较大程度的提高且最大硬度与弹性模量达到了9.8和149.1GPa。